WT-100系列白光干涉共焦测量头是一款非接触式精密光学测头，其集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身，能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时，可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析；当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构与分析。能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。
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WT-100白光干涉共焦测量头 |
WT-100T白光干涉共焦测量头 |
1) 样件测量能力：白光干涉模式可在单一扫描模式下实现从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量，可测量0.1nm及以下的粗糙度和纳米级的台阶高度；共聚焦模式尖具备锐角度测量能力，可测量微观倾角接近90°的微观形貌。
2) 辅助自动化功能：具备自动条纹搜索、自动亮度调节、扫描范围自动设置、自动调平（T系列，干涉模式下）的多个辅助自动化功能。
3) 单区域自动测量：单个测量点位可实现一键测量。
4) 影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；
5) 编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合辅助自动化功能，实现一键测量。
6) 数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能。
7) 数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
8) 批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析。
9) 数据报表导出：支持word、excel、csv、pdf格式的数据报表导出功能，支持2D/3D图像、轮廓曲线和数值结果的导出。
10) 光源安全功能：设备设置了无人值守下的自主休眠功能，有效延长光源使用寿命。
11) 镜头安全功能：软硬件双重防撞保护，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险
12) SDK软件：提供SDK软件和接口文档，便于客制化集成测头的应用。
