VT-100共聚焦测量头是一款非接触式精密光学测头，其基于光学共轭共焦和精密扫描研制而成，主要由光学共聚焦系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。
1) 3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
2) 影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；
3) 辅助自动化功能：具备自动焦面搜索、自动亮度调节、扫描范围自动设置的多个辅助自动化功能。
4) 单区域自动测量：单个测量点位可实现一键测量。
5) 编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合辅助自动化功能，实现一键测量。
6) 数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能。
7) 数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
8) 批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析。
9) 数据报表导出：支持word、excel、csv、pdf格式的数据报表导出功能，支持2D/3D图像、轮廓曲线和数值结果的导出。
10) 光源安全功能：设备设置了无人值守下的自主休眠功能，有效延长光源使用寿命。
11) 镜头安全功能：软硬件双重防撞保护，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。
12) SDK软件：提供SDK软件和接口文档，便于客制化集成测头的应用。
